31 марта 2026 г. в 17.30
Построение компактных моделей резонансных и модально-локализованных МЭМС-датчиков
Доклад посвящен разработке и апробации алгоритма синтеза линейных моделей пониженного порядка для чувствительных элементов датчиков различных физических величин с частотным или относительным амплитудным съемом выходного сигнала. Рассматривается два принципиально различных вида возмущения (измеряемого воздействия) – изменение массы чувствительного элемента и его жесткости. В первом случае изменение массы резонатора, например, вследствие осаждения молекул газа в газовом детекторе, позволяет использовать относительно простой алгоритм построения редуцированной модели – показано, что зависимость от массы сугубо линейная. Во втором случае при воздействии на жесткость чувствительного элемента, например, в микромеханическом акселерометре, требуется применение более общего и универсального подхода, а именно интерполяции матриц массы и жесткости на соответствующих матричных многообразиях для сохранения свойств матриц (в первую очередь, невырожденность и положительная определенность). Оба алгоритма апробированы и верифицированы на примере ранее изученного аналитически чувствительного элемента – микробалки с начальной погибью.
